【资料图】
提 到光刻法大家在熟悉不过了,那你是否知道光刻法吗?快和小编一起去了解一下吧!
1、分束器为达到干涉的效果,相干光必须在汇聚前被分束成两个及以上数量的光束。
2、利用DLIP,不同的结构能够在数秒内直接在基底上被制成,得到大面积上的周期性阵列。
3、从而,若要绘制任意图样的纹路,还需要采用其他光刻蚀技术。
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